PECVD概念上市公司股票名单，值得关注和研究！（2023/12/14）

以下是相关概念股票：

罗博特科：

12月14日罗博特科早盘消息，7日内股价上涨6.07%，今年来涨幅上涨14.91%，最新报82.260元，涨2.69%，市值为90.81亿元。

公司目前尚不属于专精特新企业，但公司符合相关申报条件，正在筹备专精特新企业申报工作。公司有HJT电池各种PECVD工艺的配套自动化产品和系统。

北京科锐：

12月14日消息，北京科锐最新报6.690元，涨1.21%。成交量216.58万手，总市值为36.28亿元。

控股子公司的项目攻克了无移动源甚高频匹配技术，优化了气流场、温度场以及电场的设计，开发了用于生产异质结（HIT）太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）核心装备。

微导纳米：

12月14日盘中消息，微导纳米今年来涨幅下跌-27.42%，最新报38.600元，成交额896.1万元。

公司已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。公司夸父（KF）系列设备在光伏领域PERC电池中的Al2O3工艺和SiNX工艺、TOPCon电池正面Al2O3工艺均已实现产业化应用。公司祝融（ZR）系列产品集成了PEALD与PECVD技术，在PERC电池、TOPCon电池中均已实现产业化应用。在PERC电池中，客户可以在同一设备中采用两种不同技术完成对PERC电池背面Al2O3和SiNX的沉积；在TOPCon电池中，客户在同一设备中可连续完成对TOPCon电池超薄SiOX隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备。公司在行业中已率先取得无锡尚德、通威太阳能、晶科能源、商洛比亚迪等公司TOPCon产线设备订单。